Notice: Undefined index: linkPowrot in C:\wwwroot\wwwroot\publikacje\publikacje.php on line 1275

Publikacje

[83030] Artykuł:

The efficiency and quality of silicon micromachining above the ablation threshold - a comparison for femto, pico and nanosecond laser

Czasopismo: Laser Technology 2018: Progress And Applications Of Lasers Tom: 10974, Strony: 1-8
ISSN: 1996-756X
ISBN: 978-1-5106-2604-1
Wydawca: SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING, 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, WA 98227-0010 USA
Opublikowano: 2018
Seria wydawnicza: Proceedings of SPIE

Autorzy / Redaktorzy / Twórcy

Imię i nazwisko	Wydział	Katedra	Do oświadczenia nr 3	Grupa przynależności	Dyscyplina naukowa	Procent udziału	Liczba punktów do oceny pracownika	Liczba punktów wg kryteriów ewaluacji
Ryszard. Pawlak			Nie	spoza "N" jednostki		20	.00	.00
Mariusz Tomczyk			Nie	spoza "N" jednostki		20	.00	.00
Maria Walczak			Nie	spoza "N" jednostki		20	.00	.00
Piotr Sęk	WMiBM	Katedra Inżynierii Eksploatacji i Przemysłowych Systemów Laserowych*	Nie	zaliczony do "N"	Inżynieria mechaniczna	20	15.00	3.00
Mateusz Tanski			Nie	spoza "N" jednostki		20	.00	.00

Grupa MNiSW: Materiały z konferencji międzynarodowej (zarejestrowane w Web of Science)
Punkty MNiSW: 15
Klasyfikacja Web of Science: Proceedings Paper

DOI

Web of Science

Keywords:

silicon laser micromachining nanosecond picosecond femtosecond IR UV

Abstract:

In the paper the results of 3D micromachining of silicon using nanosecond (1064 nm), picosecond (343 nm) and femtosecond (343 nm) laser pulses are presented. Effective laser processing demands repeated scanning of the laser beam and overlapping of paths what generate many phenomena which do not occur by impact of individual laser pulses. Thermal incubation effect and shielding of laser beam by ejected particles compete and decide on the final result of ablative micromachining. Applying femto and picosecond laser pulses does not directly guarantee expected quality and effectiveness.

POWRÓT

Strona główna > Publikacje