Notice: Undefined index: linkPowrot in C:\wwwroot\wwwroot\publikacje\publikacje.php on line 1275
[8164] Artykuł: Zawory pneumatyczne z przetwornikami piezoelektrycznymiCzasopismo: Pneumatyka Przemysłowe Systemy Sprężonego Powietrza Zeszyt: 1, Strony: 44-48ISSN: 1426-6644 Opublikowano: 2001 Autorzy / Redaktorzy / Twórcy
Grupa MNiSW: Publikacja w recenzowanym czasopiśmie wymienionym w wykazie ministra MNiSzW (część B) Punkty MNiSW: 4 YADDA/CEON Słowa kluczowe: mikropneumatyka  pneumatyka zminiaturyzowana  zawór pneumatyczny z przetwornikiem piezoelektrycznym  mikroprzetwornik  |
W latach 80. powstała technologia mikrosystemu MST (Microsystem Technology), a w latach 90. rozwinął się system mikroelektromechaniki MEMS (Micro-Eletro-Mechanical--System). Równolegle z rozwojem mikroelektroniki i mikromechaniki rozwijała się mikropneumatyka.