Notice: Undefined index: linkPowrot in C:\wwwroot\wwwroot\publikacje\publikacje.php on line 1275
Publikacje
Pomoc (F2)
[27004] Artykuł:

Mikromechatronika. Mikrochwytaki do mikromontażu systemów MEMS

(Micromechatronics. Microgrippers for micro-assembly of MEMS)
Czasopismo: Hydraulika i Pneumatyka   Zeszyt: 5, Strony: 11-18
ISSN:  1505-3954
Opublikowano: 2009
 
  Autorzy / Redaktorzy / Twórcy
Imię i nazwisko Wydział Katedra Procent
udziału
Liczba
punktów
Ryszard Dindorf orcid logoWMiBMKatedra Urządzeń Mechatronicznych**1004.00  

Grupa MNiSW:  Publikacja w recenzowanym czasopiśmie wymienionym w wykazie ministra MNiSzW (część B)
Punkty MNiSW: 4


Web of Science LogoYADDA/CEON    
Słowa kluczowe:

mikromontaż  mikromechatronika 


Keywords:

micro-assembly  micromechatronics 



Streszczenie:

Opisano zalety mechatroniki w projektowaniu mikrochwytaków używanych do mikromontażu systemów mikroelektromechanicznych (MEMS). Opisano podstawowe systemy mikromontażu. Podano przykłady różnych mikrochwytaków z mikroprzetwornikami (mikroaktuatorami).




Abstract:

The paper deals with mechatronic approach to the design of micro grippers used in micro-assembly of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). The basic micro-assembly systems are described. The examples of several solutions for micro grippers with micro-actuators are presented.



B   I   B   L   I   O   G   R   A   F   I   A
[1] Baechi A.: Suspension handling system, a micromachined channel network with integrated actuators and sensors. ETH Dissertation. Shaker Verlag, Basel 200l.
[2] Bechtold S.: Kompakte Modellierung von thermischen Effekten in Mikrosystemen. Dissertation. Universität Bremen 2003.
[3] Dindorf R, Wołkow J.: Mikrohydraulika. Hydraulika i Pneumatyka, z. 6/1999.
[4] Dindorf R, Wołkow J.: Mikroprzetworniki w układach płynowych. Hydraulika i Pneumatyka, z. 3/2001.
[5] Dindorf R.: Kierunki rozwoju i zastosowania mikrorobotyki. Pomiary Automatyka Robotyka, z. 10/2001.
[6] Dindorf R.: Methods of manufacture and assembly of fluid microelements. Advances in Manufacturing Science and Technology. Vol. 25, No. 3,2001.
[7] Dindorf R.: Zastosowanie mikrozaworów w układach pneumatycznych. Pneumatyka, z. 3,2002.
[8] Dindorf R.: Specjalne chwytaki płynowe. Hydraulika i Pneumatyka, z.3/2006.
[9] Dindorf R.: Zagadnienia montażu mikrozaworów pneumatycznych. Napędy i Sterowanie, z. 7-8/2007.
[10] Goll C., Bacher W., Menz W., Schomburg W. K.: Entwicklung, Herstellung und Test von aktiven Mikroventilen für pneumatische Anwendungen. FZKA 5902. TU Karlsruhe, 1999.
[11] Fatikow S., Rembold D.: Mikrosystem Technology and Microrobotiks. Springer Verlag, Berlin 1997.
[12] Messner S.: Elektrostatisch angetriebenes 3/2-Wege-Mikroventil für pneumatische Anwendungen. Diss. TU Freiburg 2000.
[13] Monkman G.J., Hesse S., Steinman R., Schunk J.: Robot Grippers. WILEY-VCH Verlag GmbH&Co&KGaA, Weinheim 2007.
[14] Qiao F.: Biologisch inspirierte mikrotechnische Werkzeuge für die Mikromontage und die Minimal-Invasive Chirurgie. Diss. Technische Universität Ilmenu, Ilmenau 2003.
[15] Salim, R: Gestaltung und mikrotechnische Realisierung von Mikrogreifern. Technische Universität Ilmenau, Dissertation, Ilmenau 1997.
[16] Zoppig V.: Entwurf von Miniaturgreifern ais mechatronische Systeme. TU Ilmenu 2002.
[17] Effiziente Mikromontage in kleinen Stückzahlen durch Telepräsenz. Newsletter IWB Nr.2, Juni 2004.